真空原理： 在带有吸气阀和排气阀的圆形泵体内，装有一个偏心转子和转子槽中靠离心力运动的三片叶子，这些叶片将泵分隔三部分，他们的容积随着转子的转动，周期性的变化，完成气体的抽吸、压缩、排出过程，从而使抽吸口处的气体被抽吸，形成真空。特点：极限真空度高，可小于0.5毫巴抽速高工作嘈

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